近日，中國科學(xué)院長春應(yīng)用化學(xué)研究所生態(tài)環(huán)境高分子材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室季生象課題組應(yīng)邀撰寫的綜述Directed self-assembly of block copolymers on chemical patterns: A platform for nanofabrication在 Progress in Polymer Science 上發(fā)表（Prog. Polym. Sci. 2016, 54–55, 76–127）。
該綜述對嵌段共聚物在化學(xué)圖案上引導(dǎo)組裝的原理、流程和技術(shù)手段，及其在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用進(jìn)行了全面的總結(jié)和評述，并對嵌段共聚物引導(dǎo)組裝的未來發(fā)展前景進(jìn)行了展望，便于讀者快速全面地了解該研究領(lǐng)域的發(fā)展?fàn)顩r。
使用化學(xué)圖案(chemical pattern)引導(dǎo)組裝(directed self-assembly，DSA)嵌段共聚物薄膜微相分離，可以獲得長程有序排列的納米結(jié)構(gòu)。相對于光刻法得到的納米結(jié)構(gòu)，引導(dǎo)組裝制備的納米結(jié)構(gòu)具有相疇定位高度精準(zhǔn)、線邊粗糙度小等優(yōu)點(diǎn)，并可以通過自我修復(fù)修正光刻法產(chǎn)生的缺陷以及密度倍增法解決光刻法極限分辨率的難題，是制造下一代芯片和存儲媒體的理想候選技術(shù)之一。
該課題組自2011年組建以來一直開展嵌段共聚物引導(dǎo)組裝方面的研究工作，通過分子設(shè)計(jì)合成新型嵌段共聚物，并研究其在化學(xué)圖案上的引導(dǎo)組裝行為，主要包括：1）高χ值嵌段共聚物的合成及其引導(dǎo)組裝；2）三嵌段共聚物的引導(dǎo)組裝；3）新型聚合物分子刷的合成。
該課題組還應(yīng)邀在Chinese Journal of Polymer Science 上發(fā)表了題為From self-assembled monolayers to chemically patterned brushes: Controlling the orientation of block copolymer domains in films by substrate modification 的聚合物分子刷方面的綜述( 2016, 34, 659-678)。
課題組的相關(guān)工作獲得了中科院百人計(jì)劃、國家自然科學(xué)基金委和吉林省科技廳等項(xiàng)目的大力支持。
嵌段共聚物在化學(xué)圖案上的引導(dǎo)組裝流程
